Шлифовка и полировка являются заключительным этапом в процессе подготовки образца и состоят из нескольких шагов. Каждый шаг использует более тонкий абразив, чем предыдущий, конечной целью которого является получение образца без деформационной, без царапин и с высокой отражающей способностью поверхности образца. Далее возможен анализ образца с травлением или без травления, чтобы выявить микроструктуру материала. Часто бывает, что отличия в материале видны только после успешного этапа травления.
